作為一款缺陷形貌分析的精細(xì)測量儀器，其主要目的是對(duì)樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款精細(xì)的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著優(yōu)越的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

分析功能
Park NX20可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。精細(xì)度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間。

即便是接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量

NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力。

對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來失效分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電子掃描模式

QuickStep SCM
掃描式電容顯微鏡

PinPoint AFM
無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

多種技術(shù)幫助顧客減少測試時(shí)間
 CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)

通過對(duì)比重復(fù)掃描情況下探針的形狀變化，您可以輕易看到Park的非接觸模式的優(yōu)勢所在。

借助非接觸模式，探針在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。

低噪聲Z探測器測量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時(shí)也為您節(jié)省了寶貴的時(shí)間。

使用低噪聲Z探測器信號(hào)進(jìn)行臺(tái)階形貌測量。
在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。
沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
終身無需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護(hù)成本

Park NX系列原子力顯微鏡

傳統(tǒng)的原子力顯微鏡

Park NX20技術(shù)參數(shù)
掃描器
Z掃描器
柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz帶寬)

 
XY掃描器
閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選 50 µm × 50 µm)

 
驅(qū)動(dòng)臺(tái)
Z位移臺(tái)行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 150 mm x 150 mm (Motorized)

 
樣品架
樣品尺寸 : 基本配置開放空間為 150 mm x 150 mm,厚度值為 20 mm (可選，可擴(kuò)展到 200 mm x 200 mm)
樣品重量 : < 500 g

 
光學(xué)
10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

 
軟件
SmartScan™
AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動(dòng)模式的使用和掃描控制

XEI
AFM數(shù)據(jù)分析軟件

 
電子
集成功能
4通道數(shù)字鎖相放大器
數(shù)據(jù)Q控制

信號(hào)處理
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

連接外部信號(hào)
20個(gè)嵌入式輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調(diào)制和交流偏壓
 
AFM模式
(*可選項(xiàng))
標(biāo)準(zhǔn)成像
非接觸式原子力顯微鏡
PinPoint™ 原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
橫向力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡

 
力測量
力-距離(F/d)光譜
力譜成像

 
介電/壓電性能
靜電力顯微鏡 (EFM)
動(dòng)態(tài)接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電力顯微鏡 (PFM)
高壓壓電力顯微鏡*

 
機(jī)械性能
力調(diào)制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*
高壓納米刻蝕*
納米操縱*

 
磁學(xué)性能*
磁力顯微鏡 (MFM)
可調(diào)制磁力顯微鏡

電性能
導(dǎo)電原子力顯微鏡 (C-AFM)*
IV 譜線*
掃描開爾文探針顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*
光電流測繪 (PCM)*

化學(xué)性能*
功能化探針的化學(xué)力顯微鏡
電化學(xué)顯微鏡 (EC-AFM)

選項(xiàng)

定制您原子力顯微鏡

自動(dòng)數(shù)據(jù)收集和分析，適合工業(yè)客戶產(chǎn)線測量

Park的自動(dòng)化控制軟件，可根據(jù)您的預(yù)設(shè)程序自動(dòng)進(jìn)行AFM測量。它可以準(zhǔn)確地收集數(shù)據(jù)，執(zhí)行模式識(shí)別，并使用它的尋邊器和光學(xué)模塊進(jìn)行分析，不需要人工介入，從而為您節(jié)省大量寶貴時(shí)間。

傾斜樣品傾角夾具，可幫助您進(jìn)行樣品側(cè)壁成像。

NX20的創(chuàng)新架構(gòu)實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品側(cè)壁和表面的檢測，還能夠測量出相應(yīng)角度。這為您提供了更多的創(chuàng)新研究方案和對(duì)樣品更深入的理解。

溫度穩(wěn)定的隔音罩

創(chuàng)新的控制設(shè)計(jì)使Park NX20能夠快速達(dá)到溫度平衡
NX20具有主動(dòng)隔振功能。

集成編碼器的自動(dòng)載臺(tái)

• XY馬達(dá)運(yùn)動(dòng)工作時(shí)分辨率為1 µm，重復(fù)率為2 µm。
• Z馬達(dá)運(yùn)動(dòng)的分辨率為0.1 µm，分辨率為1 µm。

樣品盤

• 用于電氣測量的專用小樣品架
• 用于固定晶圓的真空槽

溫度控制

· 溫控臺(tái) 1:  -25 °C to +170 °C
·溫控臺(tái) 2:  Ambient to +250 °C
· 溫控臺(tái) 3:  Ambient to +600 °C