1.用于低載荷測量的至佳的計量型納米壓痕測試儀
獨特的主動表面參比技術(shù)：參考參比針尖記錄樣品的表面位移位置，同時針尖壓痕完成測量，以此扣除熱漂移和框架剛度影響。
UNHT3 可測量他人估計的結(jié)果：兩個獨立式位移和載荷傳感器可可靠地控制載荷和壓入位移。
至大量程：從小壓入位移（幾納米）到大壓入位移（高達 100 μm），從低載荷（10 μN）到高載荷（100 mN）

 

2.市場上穩(wěn)定性至高的納米壓痕測試儀
熱漂移低至 10 fm/sec，可忽略，無需進行任何修正
獨特的蠕變測試過程的長期穩(wěn)定性
即使在高載荷下也保持高框架剛度 (>108 N/m)
獨特的 ZerodurÒ 材料沒有熱膨脹性，因此消除了測量過程中溫度變化的影響

 

3.“快速點陣”壓痕模式帶“模板”模式
采用“快速點陣”壓痕模式的快速測量點陣：每小時測試量高達 600 次，符合 ISO14577 儀器化壓入測試 (IIT) 要求
全新“模板”模式可用于從自動數(shù)據(jù)導(dǎo)出并創(chuàng)建更快速靈活的分析
定義自動測量的測量模板和多樣品管理

 

4.高精度的納米壓痕測試儀用于進行準(zhǔn)確的表面檢測
超靈敏表面接觸點判定包含接觸剛度判定
測量凝膠和硬質(zhì)材料
載荷分辨率為 0.003 µN
載荷本底噪音小于 0.05 µN
位移分辨率為 0.003 nm
位移本底噪音小于 0.03 nm

 

5.內(nèi)置多功能：多種測試和分析模式
多種測試模式：連續(xù)多周期 (CMC)、恒應(yīng)變速率、用戶自定義、點陣
動態(tài)力學(xué)測試 (DMA)包含“正弦”模式
各種不同機械性能的分析：硬度、彈性模量、儲能和損耗模量、蠕變、應(yīng)力 - 應(yīng)變、赫茲應(yīng)力分析
環(huán)境控制：真空、液體、溫度和相對濕度

 

典型應(yīng)用
聚合物的粘彈特性
硬質(zhì)涂層（PVD、CVD 涂層）：厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圓：厚度范圍為 10 nm 至 500 nm
光學(xué)和玻璃：薄膜和/或表面特性表征
內(nèi)在骨組織的質(zhì)量
超納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機械性能