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TESCAN掃描電鏡S9000X Xe Plasma FIB-SEM

TESCAN S9000X

  1. 產(chǎn)品編號(hào)：TESCAN S9000X
  2. 所屬品牌：捷克TESCAN
  3. 產(chǎn)品型號(hào)：TESCAN S9000X
  4. 額定功率：按實(shí)際方案提供
  5. 所屬類別：TESCAN掃描電鏡
  6. 所屬用途：固體表面測(cè)量
  7. 應(yīng)用領(lǐng)域：金屬

產(chǎn)品特性：TESCAN S9000X是一款氙（Xe）等離子分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng),配置新穎的TriglavTM 分辨率電子鏡筒以及新款的iFIB+TM離子鏡筒,它的分辨表征能力和樣品制備效率,足以應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體和材料表征中具挑戰(zhàn)性的物理失效分析工作,實(shí)現(xiàn)大體積三維樣品特性分析.

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產(chǎn)品特點(diǎn) 技術(shù)規(guī)格 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要優(yōu)勢(shì)：

• 新的 Essence 軟件的用戶界面可實(shí)現(xiàn)更輕松、更快速、更流暢的操作，包括碰撞模型和可定制的面向應(yīng)用流程的布局；
• 新一代 Triglav™ UHR SEM 鏡筒具有很好的分辨率，優(yōu)化的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)在低束流能量下具有優(yōu)越的性能；
• 軸向探測(cè)器通過(guò)能量過(guò)濾器，可以接收不同能量的電子信號(hào)，增強(qiáng)表面敏感性；
• 新型 iFIB+™ Xe 等離子 FIB 鏡筒具有很好的視野，可實(shí)現(xiàn)很大面積的截面加工；
• 新一代 SEM 鏡筒內(nèi)探測(cè)器結(jié)合高濺射率 FIB，實(shí)現(xiàn)超快三維微分析；
• 氣體增強(qiáng)腐蝕和加工工藝，尤為適合封裝和 IC 去層應(yīng)用；
• 高精度壓電驅(qū)動(dòng)光闌，可實(shí)現(xiàn) FIB 預(yù)設(shè)值之間的快速切換；
• 新一代 FIB 鏡筒具有 30 個(gè)光闌，可延長(zhǎng)使用壽命，并很大限度地減少維護(hù)成本；
• 半自動(dòng)離子束斑優(yōu)化向?qū)?，可輕松選擇 FIB 銑削條件；
• 專用的面向工作流程的 SW 模塊、向?qū)Ш凸に嚕蓪?shí)現(xiàn)吞吐量和易用性。
相關(guān)應(yīng)用
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服務(wù)體系

Service System

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說(shuō)明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購(gòu)買建議。

  1. 服務(wù)理念

    服務(wù)理念

    安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；

  2. 售中服務(wù)

    售中服務(wù)

    為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說(shuō)明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶中肯的購(gòu)買建議。

  3. 售后服務(wù)

    售后服務(wù)

    安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；