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TESCAN掃描電鏡XEIA3

XEIA3

  1. 產(chǎn)品編號(hào):XEIA3
  2. 所屬品牌:捷克TESCAN
  3. 產(chǎn)品型號(hào):XEIA3
  4. 額定功率:按實(shí)際方案提供
  5. 所屬類(lèi)別:TESCAN掃描電鏡
  6. 所屬用途:制樣設(shè)備
  7. 應(yīng)用領(lǐng)域:金屬

產(chǎn)品特性:TESCAN掃描電鏡XEIA3是一款獨(dú)特的集多種功能于一體的新型雙束聚焦(XE)掃描電子顯微鏡,它性能優(yōu)異,為用戶(hù)提供整體解決方案.XEIA3不僅配有大功率的FIB以進(jìn)行超快速的微米或納米級(jí)切割,還具備優(yōu)越的低能粒子束成像能力,同時(shí)亦可以進(jìn)行快速可靠地顯微分析以及樣品分析的3D重建.

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產(chǎn)品特點(diǎn) 技術(shù)規(guī)格 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

關(guān)鍵參數(shù)特征

  • 功能強(qiáng)大的SEM電子光學(xué)系統(tǒng),采用高亮度的Schottky發(fā)射器為電子源,具有束流大,噪點(diǎn)低,非凡的成像能力等特點(diǎn)
  • In-Beam探測(cè)器能夠確保在很小的工作距離下仍能收集信號(hào),進(jìn)行高品質(zhì)成像
  • 采用Xe等離子體源的超快速FIB系統(tǒng)。 束流大,具有驚人的離子束切割速度,因此在切除大體積塊狀材料時(shí)卓有成效;
  • 同時(shí)較低的離子束流便于完成樣品表面拋光
  • 電子束減速技術(shù)(BDT)助力于進(jìn)行超低著陸電壓下的成像
  • 隔離材料的植入、摻雜或降解更少,這點(diǎn)對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)相當(dāng)重要
  • SEM與 FIB兩系統(tǒng)互補(bǔ),即使用FIB進(jìn)行樣品切割或沉積時(shí),可同時(shí)進(jìn)行SEM成像拍照
  • TESCAN電鏡各種自動(dòng)化操作技術(shù),如In-Flight Beam TracingTM技術(shù)可通過(guò)計(jì)算精細(xì)的調(diào)節(jié)高分辨率成像所需的參數(shù)設(shè)置
  • (例如工作距離WD、放大倍率等)
  • DrawBeam 軟件模塊是一個(gè)便于進(jìn)行圖案設(shè)計(jì)的工具,3D功能亦很強(qiáng)大,使用它可在FIB切割或粒子束蝕刻等過(guò)程可實(shí)時(shí)獲取圖像
  • 為3D EDX及3D EBSD等三維顯微分析技術(shù)帶來(lái)全新的解決方案
  • 集成了飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)與 掃描探針顯微技術(shù),可擴(kuò)展的大樣品室,使用戶(hù)能夠進(jìn)行6’’、8’’ and 12’ 的晶片光刻檢驗(yàn)
  • 12’’晶片光刻檢驗(yàn)是TESCAN電鏡的技術(shù)能力
  • 氣體注入系統(tǒng) (GIS) 有助于使FIB完成更多應(yīng)用
  • 高性能的電子成像能力,其成像速率可高達(dá)20 ns/pxl, 同時(shí)具備優(yōu)越的沉積速率及超快的掃描速度
  • 渦輪分子泵及前級(jí)泵能有利于保持樣品室的清潔度;電子槍通過(guò)離子吸氣泵獲得真空
相關(guān)應(yīng)用
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服務(wù)體系

Service System

為用戶(hù)提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說(shuō)明,還為客戶(hù)提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶(hù)最中肯的購(gòu)買(mǎi)建議。

  1. 服務(wù)理念

    服務(wù)理念

    安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負(fù)責(zé)為用戶(hù)的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件;

  2. 售中服務(wù)

    售中服務(wù)

    為用戶(hù)提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說(shuō)明,還為客戶(hù)提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶(hù)中肯的購(gòu)買(mǎi)建議。

  3. 售后服務(wù)

    售后服務(wù)

    安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負(fù)責(zé)為用戶(hù)的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件;