TEM、STEM 和 SEM （T-SEM） 中納米尺度的 EDS 元素面分析

清晰的多功能測(cè)量裝置和細(xì)管徑幾何構(gòu)型可確保在常規(guī)基礎(chǔ)上快速可靠的采集 TEM EDS 數(shù)據(jù)。使用 HyperMap 或譜圖獲取高光譜成像，我們的軟件保存每個(gè)像素的譜圖和定量分析所需的所有元數(shù)據(jù)，用于之后的檢測(cè)和處理。

• 適合不同電子顯微鏡靴類型的的 EDS 細(xì)管徑設(shè)計(jì)和優(yōu)化的EDS 幾何構(gòu)型確保了信號(hào)采集角和檢出角
• 有助于避免試樣傾斜、吸收、陰影和系統(tǒng)峰
• 無窗探測(cè)器可進(jìn)一步提高檢測(cè)效率，特別是在低能端，可用于輕元素和高核電荷數(shù)元素 L、M 和N 線系能量峰的檢測(cè)
• 默認(rèn)模式下自動(dòng)回縮和自定義可確保探測(cè)器更長(zhǎng)的使用壽命和更豐富的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
• EDS 可用于原位實(shí)驗(yàn)，具有不斷變化的數(shù)據(jù)流，比如高溫實(shí)驗(yàn)
• 全方面的軟件套件 ESPRIT，可用于在線和離線的數(shù)據(jù)分析

在線和離線的 TEM EDS 軟件

TEM 的 QUANAX EDS 包含一個(gè)靈活和透明的分析軟件包 ESPRIT。元素面分析、HyperMap 或頻譜圖像以及生成定量元素面分析可使用默認(rèn)和用戶可調(diào)的方法設(shè)置，允許用戶快速、全方面地挖掘樣品數(shù)據(jù)。有標(biāo)樣和無標(biāo)樣的定量分析用于譜圖、選區(qū)分析、線掃描和元素面分析，以及基于 PCA 的物相分析和自動(dòng)統(tǒng)計(jì)顆粒物分析。

• 帶個(gè)人硬件密鑰和/或 LAN 選項(xiàng)的離線分析軟件，用于學(xué)生或?qū)嶒?yàn)室網(wǎng)絡(luò)
• 開放透明的用戶界面：您看到的就是您得到的
• 定量例程的設(shè)置、可修改和保存/重新加載 EDS 數(shù)據(jù)定量方法
• 電子透明試樣有兩種定量方法：Cliff-Lorimer 和Zeta 因子法
• 理論的 Cliff-Lorimer 因子可以計(jì)算任何電壓，包括SEM（SEM 中的 TEM）上的低電壓，它基于一個(gè)大型的穩(wěn)步更新的原子數(shù)據(jù)庫(kù)
• 使用標(biāo)準(zhǔn)試樣輕松對(duì)實(shí)驗(yàn)的 Cliff-Lorimer 和 Zeta 因子進(jìn)行軟件引導(dǎo)校準(zhǔn)
• 標(biāo)樣未涵蓋的 Zeta 因子可以使用現(xiàn)有的 Cliff-Lorimer 因子進(jìn)行計(jì)算
• EDS 譜圖背景模型的選擇：薄樣品物理模型，數(shù)學(xué)模型，厚樣品物理模型
• 報(bào)表生成和打印格式設(shè)置