產(chǎn)品特性：Park NX Hybrid WLI是一款具有內(nèi)置WLI輪廓儀的AFM，用于半導(dǎo)體和相關(guān)制造質(zhì)量保證。例如半導(dǎo)體前端、后端到封裝的過程控制，以及研發(fā)計(jì)量。它適用于那些需要在大面積上進(jìn)行高吞吐量測量的設(shè)備，這些設(shè)備可以縮小到具有亞納米分辨率和很高精度的納米級(jí)區(qū)域。
021-33587030021-33587020021-34631757
電話咨詢
半導(dǎo)體計(jì)量的兩種互補(bǔ)技術(shù)。
WLI: 白光干涉測量是一種光學(xué)技術(shù)，它可以對(duì)非常寬的區(qū)域進(jìn)行成像，速度非?？?，滿足高吞吐量測量。
AFM: 原子力顯微鏡是一種掃描探針技術(shù)，即使對(duì)透明材料也能提供準(zhǔn)確的納米級(jí)分辨率測量。
WLI和AFM在視野,分辨率和速度方面結(jié)合。
WLI應(yīng)用需要比WLI 能力更高的分辨率和精度
化學(xué)機(jī)械拋光計(jì)量和監(jiān)測
封裝
全掩模的熱點(diǎn)和缺陷檢測
晶圓級(jí)計(jì)量
AFM應(yīng)用需要更大的區(qū)域和更高的吞吐量
In-line 晶圓計(jì)量
長行程CMP輪廓表征
亞埃級(jí)表面粗糙度控制
晶圓檢驗(yàn)與分析
NX-Hybrid WLI 功能
Park WLI系統(tǒng)
Park WLI支持WLI和PSI模式（PSI模式由電動(dòng)過濾器變換器 支持）
可用物鏡放大倍數(shù)：2.5X 、10X、20X、50X、100X
兩個(gè)物鏡可由電動(dòng)線性換鏡器自動(dòng)更換
WLI光學(xué)干涉測量
掃描 Mirau 物鏡高度時(shí)，由干涉引起的光強(qiáng)變化可以計(jì)算每個(gè)像素處的樣品表面高度
白光干涉測量 (WLI) 和相移干涉測量 (PSI) 是兩種常用的表面表征技術(shù)
NX-Hybrid WLI 應(yīng)用
熱點(diǎn)檢測和審查
熱點(diǎn)快速調(diào)查和熱點(diǎn)缺陷自動(dòng)審查
可以通過比較參考和目標(biāo)樣品區(qū)域的圖像來檢測圖案結(jié)構(gòu)的熱點(diǎn)
WLI 的高速“熱點(diǎn)檢測”可以快速定位缺陷位置，以進(jìn)行高分辨率 AFM 審查
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
