產品特性：熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡。
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高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當今掃描電鏡的全部前沿技術，200nA的大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結果，空間分辨率很高，對導電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高，操作直觀方便。
高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點
1.主動式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護
3.標配的五軸馬達驅動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標準配置
9.能量過濾器標準配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）
高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術參數(shù)
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SEI 分辨率 |
1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） |
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放大倍數(shù) |
25 到 1,000,000x |
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加速電壓 |
0.1 到 30 kV |
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束流 |
1 pA 到 200 nA（15 kV時） |
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光闌角控制鏡 |
內置 |
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探測器 |
上方和下方探測器 |
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能量過濾器 |
新 γ過濾器 |
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柔和光束 |
內置 |
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數(shù)字圖像 |
1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 |
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樣品交換室 |
單步加載/卸載 |
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樣品臺 |
全對中，5軸馬達驅動 |
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真空系統(tǒng) |
2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP |
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節(jié)能設計 |
正常運行：1.2 kVA |
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為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內，我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件；
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