378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的特點(diǎn)
1.此光學(xué)系統(tǒng)是為暢銷的FS60型（后升為FS70型）而開發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。    
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，F(xiàn)S70L4支持2種波長(zhǎng)（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微鏡的激光穖的性能，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購(gòu)激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。     
3.FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉對(duì)比（DIC）和偏振觀測(cè)。FS70L和FS70L4不支持DIC。     4.使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。     
5.操作的設(shè)計(jì)：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場(chǎng)中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。     
   
378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的性能參數(shù)

378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的技術(shù)參數(shù)                                 
對(duì)焦                                 
方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）     
范圍：50mm測(cè)量范圍，微調(diào)0.1mm/rev同心粗調(diào)3.8mm/rev     
三目鏡筒圖像：正像     
瞳距：Siedentopf型     
調(diào)節(jié)范圍：51-76mm     
視場(chǎng)數(shù)：24     
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號(hào)）     
照明系統(tǒng)：亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶光圈）     
光源：12V100W光纖，光導(dǎo)長(zhǎng)度1.5m、功耗150W     
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo