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日立掃描電子顯微鏡

S?-3400N

  1. 產(chǎn)品編號:BHRL-SM003
  2. 所屬品牌:日本日立
  3. 產(chǎn)品型號:S?-3400N
  4. 額定功率:按實際方案提供
  5. 所屬類別:日立掃描電子顯微鏡
  6. 所屬用途:固體表面測量
  7. 應(yīng)用領(lǐng)域:不限

產(chǎn)品特性:日立掃描電子顯微鏡S?-3400N型具有開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強大的自動化功能,操作更簡易。

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產(chǎn)品特點 技術(shù)規(guī)格 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型具有開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng),強大的自動化功能,操作更簡易。
一、日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能,包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺,傾斜角度可達-20度~+90度,樣品高可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈。

二、日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型的技術(shù)指標(biāo)

 項目

 描述

 SE分辨率

3.0nm (30kV),高真空模式 
10nm (3kV), 高真空模式

 BSE分辨率

 4.0nm (30kV),低真空模式

 放大倍率

 x5 ~ x300,000

 加速電壓

 0.3 ~ 30 kV

 低真空 圍

 6 ~ 270 Pa

 樣品尺寸

 直徑200mm

 樣品臺

I型

II型

 X

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

 Y 

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

 Z

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

 R 

360º

360º

 T

-20º~ +90º

-20º ~ +90º

 樣品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

 驅(qū)動類型

手動

五軸馬達驅(qū)動

 燈絲

預(yù)對中鎢燈絲

 物鏡光欄

可移動式4孔物鏡光欄

 槍偏壓

固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏

 檢測器

二次電子檢測器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器

 分析位置

WD=10mm, TOA=35o

 控制

鼠標(biāo)、鍵盤,手動旋鈕

 自動調(diào)校

自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 

 

服務(wù)體系

Service System

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明,還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶最中肯的購買建議。

  1. 服務(wù)理念

    服務(wù)理念

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件;

  2. 售中服務(wù)

    售中服務(wù)

    為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明,還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶中肯的購買建議。

  3. 售后服務(wù)

    售后服務(wù)

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件;