產(chǎn)品特性：日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有準(zhǔn)確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性.
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日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有準(zhǔn)確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?，?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點(diǎn)
1. 具有良的臺階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可準(zhǔn)確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；
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型號 |
ET4000M |
ET4000A |
ET4000L |
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大樣品尺寸 |
300x300mm |
210x210mm |
300x400mm |
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樣品臺 |
尺寸 |
320x320mm |
220x220mm |
540x400mm |
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X軸傾斜度 |
±1mm/150mm(機(jī)動傾斜） |
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Y軸傾斜度 |
—— |
±1mm/150mm(機(jī)動傾斜） |
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承重 |
2Kg |
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檢出器 |
力 |
0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié) |
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范圍 |
100μm |
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驅(qū)動 |
LVDT直動式（差動變壓器） |
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觸針 |
ET-1479(R2μm) |
ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) |
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X軸 |
大測長 |
100mm |
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直線度 |
0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) |
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速度 |
0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） |
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重復(fù)性 |
±5μm（定位） |
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Y軸 |
大測長 |
—— |
150mm |
400mm |
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直線度 |
—— |
5μm/150mm |
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重復(fù)性 |
—— |
±5μm（定位） |
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Z軸 |
大測長 |
52mm |
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放大倍數(shù) |
垂直 |
50-2000000 |
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水平 |
1-10000 |
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3D |
—— |
可選擇 |
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θ軸 |
—— |
可選擇 |
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輔助功能 |
教學(xué)、機(jī)動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 |
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監(jiān)控系統(tǒng) |
攝像裝置 |
1/2 inch CCD (768x494像素） |
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監(jiān)視裝置 |
視頻捕捉板 |
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應(yīng)用 |
成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 |
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重復(fù)性 |
1σ0.5nm |
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電源 |
AC100V 800VA |
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外觀尺寸 |
W660xD580xH660mm 200Kg |
W930xD930xH790mm 380Kg |
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為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
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