氦離子顯微鏡ORION的基礎(chǔ)是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個(gè)原子發(fā)出的，明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴(kuò)展的限制。此外，在一個(gè)大大縮小了相互作用區(qū)里，氦離子束和樣品的動力學(xué)結(jié)果貢獻(xiàn)了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機(jī)制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射離子成像，具有很強(qiáng)元素襯度的這種技術(shù)，提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息，這種技術(shù)的另一個(gè)好處是在絕緣樣品上的高性能。

一、氦離子顯微鏡ORION技術(shù)參數(shù)

1、分辨率：0.75nm  45kv工作距離4mm；1.0nm   30kv工作距離4mm；2.5nm   10kv工作距離4mm
2、放大倍數(shù)：100x-1，000，000x
3、視野：1mm-100nm
4、離子束：1PA時(shí)〈1nm；離子束>流1 fA-25pA
5、離子源：氦氣體場離子源；壽命〉1000小時(shí)；離子源電動對中
6、樣品室：體積400mm3；基體真空度2*10-7Torr；接口板可定制；載物鎖
7、圖像探測器：Evehart-Thornley二次電子探測器；微通道板（選配）；透射電子探測器（選配）
8、樣品臺：5軸電動樣品臺，X 、Y軸行程50mm，Z軸行程12mm，360℃旋轉(zhuǎn)，0℃到45℃傾斜
9、真空系統(tǒng)：無油無微粒低真空泵設(shè)計(jì)，磁懸浮渦輪分子泵
10、攝像機(jī)：三臺監(jiān)控?cái)z像機(jī)一離子源觀察
11、樣品臺觀察、樣品室觀察
12、用戶界面：兩臺20 寸平板顯示器；圖像2048*2048像素；系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能

二、氦離子顯微鏡ORION主要特點(diǎn)

1.材料襯度
2.高分辨率
3.廣泛的分析信息
4.簡單的樣品制備
5.離子源工作穩(wěn)定、長壽命