產(chǎn)品特性：日本KOSAKA臺階儀ET200用于測量半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等.
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日本KOSAKA臺階儀ET200介紹
日本KOSAKA臺階儀ET200基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能準(zhǔn)確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET200配備了各種型探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
日本KOSAKA臺階儀ET200產(chǎn)品特點(diǎn)
二次元表面解析，可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質(zhì)材料
日本KOSAKA臺階儀ET200技術(shù)參數(shù)
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型號 |
ET200 |
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大樣品尺寸 |
φ160x48mm |
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樣品臺 |
尺寸 |
φ160 |
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傾斜度 |
±2°（X,Y手動） |
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承重 |
2Kg |
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檢出器 |
觸針力 |
10μN-500μN（1mg-50mg） |
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范圍 |
600μm（0.1nm分辨率） |
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驅(qū)動 |
直動式（差動變壓器） |
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觸針 |
R2μm 頂角60° |
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X軸 |
大測長 |
100mm |
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直線度 |
0.02μm/100mm |
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速度 |
0.005-20mm/s |
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重復(fù)性 |
±5μm（定位） |
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Y軸 |
大測長 |
25mm/手動 |
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Z軸 |
大測長 |
50mm |
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放大倍數(shù) |
垂直 |
50-2000000 |
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水平 |
1-10000 |
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監(jiān)控系統(tǒng) |
攝像裝置 |
1/3 inch CCD |
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監(jiān)視裝置 |
視頻捕捉板 |
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移動方法 |
手動 |
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輔助功能 |
教學(xué)、機(jī)動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 |
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應(yīng)用 |
成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 |
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重復(fù)性 |
1σ1nm |
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電源 |
AC90-240V 50/60Hz 300VA |
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外觀尺寸 |
W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺） |
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日本KOSOKA臺階儀ET200主要應(yīng)用—膜厚測量
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
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