日本電子發(fā)布新型智能技術(shù)肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡JSM-IT800

提供來(lái)源:上海百賀日期：2020年05月29日

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)背景

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域。隨著SEM的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大，不僅包括研究和開(kāi)發(fā)，還包括生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量控制和產(chǎn)品檢驗(yàn)，SEM用戶需要快速高質(zhì)量的數(shù)據(jù)采集，以及簡(jiǎn)單的成分信息確認(rèn)和無(wú)縫的分析操作。

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域，且其應(yīng)用領(lǐng)域還在不斷延。同時(shí)，應(yīng)用的場(chǎng)景也涵蓋了從基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)，再到生產(chǎn)制造現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量控制和產(chǎn)品檢測(cè)。與此相應(yīng)，SEM用戶對(duì)快速高質(zhì)量的數(shù)據(jù)采集、簡(jiǎn)單的成分信息確認(rèn)，以及無(wú)縫的分析操作等的需求也越來(lái)越高。

為了滿足這些需求，帶有智能技術(shù)（IT）平臺(tái)的JSM-IT800集成獨(dú)特的“鏡頭內(nèi)肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍”，用于高分辨率成像及快速元素映射，并配置新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)“Neo Engine”，以及易用性的GUI“ SEM”可以完全整合JEOL 的x射線能譜儀。此外，JSM-IT800可提供兩種類型的物鏡配置，以滿足不同用戶的需求。

JSM-IT800的兩種版本為：用于通用FE-SEM的混合鏡頭版本（HL版本）和用于增強(qiáng)的高分辨率觀察和各種分析的混合鏡頭版本（SHL版本）。此外，SHL版本的JSM-IT800配備了新的上部混合探測(cè)器（UHD），可獲取更高的信噪比圖像，以研究樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)。

此外，JSM-IT800還可以配備新的閃爍體背散射電子檢測(cè)器（SBED）和多功能背散射電子檢測(cè)器（VBED）。SBED使得即使在低加速電壓下也能以高響應(yīng)度采集圖像并產(chǎn)生鮮明的材料對(duì)比度。而VBED可以獲取3D、不均勻度和材質(zhì)對(duì)比的圖像。

產(chǎn)品特點(diǎn)

鏡頭內(nèi)肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的增強(qiáng)集成提供了更高的亮度。在低加速電壓下（5 kV時(shí)為100 nA）可獲得足夠的探針電流。獨(dú)特的In-lens肖特基Plus系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)從高分辨率成像到快速元素映射，電子背散射衍射（EBSD）分析以及軟X射線發(fā)射光譜（SXES）的各種應(yīng)用，而無(wú)需更改透鏡條件。

Neo Engine（新電子光學(xué)引擎）

Neo Engine是一種電子光學(xué)系統(tǒng)，累積了多年的JEOL核心技術(shù)。即使更改不同的觀察或分析條件，用戶也可以執(zhí)行穩(wěn)定的觀察。自動(dòng)功能的高度可操作性大大增強(qiáng)。

SEM/ EDS集成

GUI“ SEM”與SEM成像和EDS分析完全集成，可提供無(wú)縫、直觀的操作。通過(guò)合并可選的軟件附件（例如SMILENAVI）可以增強(qiáng)JSM-IT800的功能，以幫助新手用戶并為他們提供學(xué)習(xí)路徑，并且可以使用LIVE-AI過(guò)濾器（Live Image Visual Enhancer–AI）來(lái)獲取更高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像。

混合鏡頭（HL）版本和混合鏡頭（SHL）版本

基于靜電場(chǎng)和電磁場(chǎng)透鏡的組合，有兩種類型的物鏡可用。不同的配置可以滿足用戶的各種需求，實(shí)現(xiàn)高空間分辨率的成像和從磁性材料到絕緣子的各種樣品的分析，同時(shí)保持JSM-IT800的相同功能。

上層混合探測(cè)器（UHD）

內(nèi)置于SHL型物鏡中的UHD大大提高了從標(biāo)本產(chǎn)生的電子的檢測(cè)效率。這導(dǎo)致獲得具有更高信噪比的圖像。

新的反向散射電子探測(cè)器

閃爍體背散射電子檢測(cè)器（SBED，可選）具有高響應(yīng)度，適合在低加速電壓下獲取與材料形成對(duì)比的圖像。具有分段檢測(cè)器元件設(shè)計(jì)的多功能背向散射電子檢測(cè)器（VBED，可選）允許用戶選擇配置各個(gè)段，或使用預(yù)編程的檢測(cè)器設(shè)置來(lái)獲取圖像，以提供三維，地形或成分信息。