離子泵是一種用來獲得超高真空的真空泵，它具有抽速范圍廣、工作時(shí)沒有振動、無需閥門即可形成封閉式抽氣系統(tǒng)、意外破真空不會損壞等特點(diǎn)，在超高真空系統(tǒng)上應(yīng)用廣泛。

離子泵控制器可以為離子泵提供工作所需的直流高電壓（參考文章：二極泵、三極泵還有 StarCell， 離子泵原理一次搞懂）、顯示離子泵的工作狀態(tài)（電壓、電流、真空度等）和為外部的控制系統(tǒng)提供通訊接口以讀取參數(shù)或控制離子泵。

2017 年，安捷倫發(fā)布了全新的單通道離子泵控制器 IPCMini。作為安捷倫（原瓦里安）發(fā)明離子泵 60 周年 慶典的獻(xiàn)禮之作，IPCMini 集全新功能和小巧身材于一身，迅速贏得了眾多離子泵客戶的青睞。

身材小巧 使用方便

IPC Mini 僅重 1.9 公斤，它可以直接使用 24V 或 220V 電源供電，無需再外接適配器。小巧的身材包含了一塊 3.5 英寸的觸摸屏，面板上有可控制并顯示輸出高壓狀態(tài)的按鈕開關(guān)，和用于軟件升級和數(shù)據(jù)記錄的 USB 接口。使用時(shí)可以直接從系統(tǒng)菜單里選擇泵的型號，不用進(jìn)行復(fù)雜設(shè)置。

通用性強(qiáng)，其它品牌的離子泵也能用

IPCMini 最大功率 40W ，可以控制 0.2-500l/s 的離子泵。它有正高壓和負(fù)高壓兩種選項(xiàng)，可以輸出最高 7000V 的高壓，耐受 20mA 的最大電流，除安捷倫離子泵之外，它還可以兼容其它品牌的離子泵，并且有適配不同類型接頭的高壓線可選。

提高離子泵低壓啟動性能 優(yōu)化離子泵抽速

IPCMini 全新的 iSTEP 功能，該功能可以提高離子泵低壓時(shí)的啟動性能。IPCMini 可以根據(jù)離子泵的工作壓力在 7000V /5000V /3000V 之間自動調(diào)整輸出電壓，由于離子泵的抽速跟電壓相關(guān)，使用 IPCMini 時(shí)，離子泵的抽速就得到了優(yōu)化。

真空度顯示更準(zhǔn)確

使用合適的控制器，是可以把離子泵作為真空計(jì)使用來讀取真空度的，不過由于離子泵存在漏電流（離子泵工作電流中與潘寧放電無關(guān)的部分，例如絕緣污染產(chǎn)生的爬電、泵內(nèi)放電等等），一般的離子泵控制器所顯示的真空度與真實(shí)值差別很大，特別是壓力比較低的時(shí)候（漏電流一般比較小，在壓力比較高時(shí)幾乎可以忽略，而在壓力比較低時(shí)占工作電流的比例會很大）。

另外，離子泵工作的電壓越高，漏電流就會越大，IPCMini 在真空度比較高時(shí)自動降低電壓可以顯著的減小漏電流，使其在全壓力范圍內(nèi)都可以更準(zhǔn)確的顯示真空度。

電流分辨率高 信號輸出快

離子泵控制器輸出高壓的波紋電壓會形成電噪聲，IPCMini 輸出高壓的波紋電壓僅為同類產(chǎn)品的 1/30 左右，使其可以用于對電噪聲非常敏感的應(yīng)用，比如 SEM。

IPCMini 還具有 1nA 的電流分辨率，和小于 10ms 的信號輸出響應(yīng)時(shí)間，可使用其信號連鎖控制閥門等其它元件。另外，IPCMini 還可以設(shè)置斷電恢復(fù)后自動輸出高壓，避免短暫斷電對真空造成影響。

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