專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)

隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。

為OLED面板行業(yè)整片測量，尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。

專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計
Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴展了原子力顯微鏡設(shè)備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設(shè)計平板式探針掃描器）可針對第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量。專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，大樣品尺寸可以測2200 mm。

硅片直徑的變化

使用導(dǎo)電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設(shè)備或晶圓片上的設(shè)備提供電流。Park NX-TSH用于帶有導(dǎo)電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。

Park NX-TSH特點
克服了樣品大小和重量的限制。
Park原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結(jié)合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達到100µm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應(yīng)超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制。

專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，大樣品尺寸可以測到2200 mm.
Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。業(yè)界的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅(qū)動，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo)，具有高共振頻率，可以實現(xiàn)更準確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm。

具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導(dǎo)向XY掃描器
XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成，它化的面外運動能提供高度的正交掃描，用快的響應(yīng)來完成納米尺度上準確樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在大的掃描范圍及大樣品掃描時能發(fā)揮正交性。

自動測量控制，簡易操作測量更準確！

NX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得準確的多點分析，并對懸臂梁調(diào)諧、掃描速率、增益和設(shè)定點參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)置。

Park人性化設(shè)計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創(chuàng)建新的測量程序其實很簡單，從開始創(chuàng)建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創(chuàng)建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘。

Park NX-TSH的全自動特征:
自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
提供自動化程序的編輯方法
實時監(jiān)控測量過程
自動分析所獲得的測量數(shù)據(jù)

高精度，
自動換針器(ATX)
ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術(shù)自動對準。

電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
我們創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。 由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險降至低。

Park NX-TSH技術(shù)參數(shù)
*本技術(shù)參數(shù)是可定制的。 請咨詢Park原子力顯微鏡，以獲取更多信息。

系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
樣品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg

電動式X方向載物臺*
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率

電動式Y(jié)方向載物臺*

行程達525 mm, ± 3 µm分辨率

電動式Z方向載物臺*
Z軸移動距離為25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重復(fù)性

電動式對焦臺*
Z軸行進光學(xué)距離為9 mm

COGNEX圖案識別
圖案校對分辨率為1/4像素

 
掃描器
性能
XY掃描范圍
100 μm × 100 μm

XY分辨率
0.15 nm

 
Z掃描范圍
15 μm

Z分辨率
0.016 nm

 
AFM和XY移動平臺
控制器
ADC
18個頻道
4個高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置傳感器(24位ADC)
 
DAC
17 channels
2個高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
合規(guī)
CE
SEMI S2/S8標準

振動，噪聲，靜電防護（ESD）性能
地板振動要求
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)

 
噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

 
基礎(chǔ)設(shè)施需求
待機室溫
10 °C ~ 40 °C 

工作室溫
18 °C ~ 24 °C

濕度
30%至60% (不凝結(jié))

地板振動要求
VC-E (3 µm/sec)

噪音
低于65 dB

 
氣動式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa

電源額定值
208V - 240 V,單相, 15 A (大)

總耗電量
Consult Park Systems

接地電阻
低于100歐姆

 
選項
自動換針器 (ATX)
ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。

 
電離系統(tǒng)
電離系統(tǒng)可快速有效地去除靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險降至低。

 
尺寸 & 重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作員工作空間: 3700 mm (w) x 3000 mm (d)