蔡司電子顯微鏡EVO MA 15/LS 15是高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。MA 15電子顯微鏡用于材料領(lǐng)域，LS 15用于生命科學(xué)領(lǐng)域。同時還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標(biāo)準(zhǔn)無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和沒有污染免維護(hù))成像分析。

一、蔡司電子顯微鏡EVO MA 15/LS 15用途
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃?等檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

二、掃描顯微鏡（蔡司）EVO MA 15/LS 15技術(shù)參數(shù)
1、分辨率：2.0nm @ 30KV(SE with Lab6 option)   3.0nm @ 30KV(SE and W)   4.5nm @ 30KV(VP with BSD)
2、加速電壓：0.2—30KV
3、放大倍數(shù)：5—1000000x
4、視野范圍：6mm
5、X-射線參數(shù)：8.5mm WD，35度接收角
6、壓力范圍：10—400Pa (LS15:10-3000Pa)
7、工作室：365mm(φ)×275mm(h)
8、5軸優(yōu)自動樣傯ǎ篨=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=0-90°R=360°
9、試樣高度：145mm，試樣直徑：250mm
10、系統(tǒng)控制：基于Windows XP 的SmartSEM

三、掃描顯微鏡（蔡司）EVO MA 15/LS 15主要特點
1、能在可變壓力下操作
2、X射線和EBSD分析
3、快速抽真空
4、未來的保證，可升級在高壓和水蒸氣下成像和分析
5、高亮度LaB6資源選擇
6、光線套選擇
7、可移動大平臺

四、掃描顯微鏡（蔡司）EVO MA 15/LS 15技術(shù)優(yōu)勢
1、在z軸上可機(jī)動化的移動50毫米并且在X和y軸上可移動125毫米
2、樣本高度增加到145毫米
3、改進(jìn)了低真空圖像
4、X-射線分析技術(shù)