工業(yè)測量顯微鏡廣泛應用于多個行業(yè)，特別是電子行業(yè)，是觀察電路板的構造和準確測量距離的“得力”儀器。關于測量顯微鏡的測量基礎知識，詳細講解一下。

首先，我們從測量顯微鏡的主要構成和光路說起，請看下圖：

在上圖中也提到了顯微鏡的三種照明方式。照明方式不同，觀察成像也不同，因此需要根據(jù)不同的工件以及測量部位，選擇適合的照明方式。

照明方式

1.投射照明

采用透過輪廓光觀察的方法，特別是觀察測量輪廓時使用，邊緣清晰易于觀察。

2.反射照明

垂直照射測量工件的表面，用來表面性狀的觀察和測量。

3.外部照明

用斜射的光來照射測量工件的表面，能夠實現(xiàn)立體的、顏色重復性良好的觀察。

使用顯微鏡時，您可能會遇到顯微鏡的專業(yè)用語，這些用語都代表什么意思呢？

綜合放大倍率

PC顯示倍率（TV綜合倍率）

PC顯示器倍率（TV綜合倍率）是指相機攝像元件對角線長度與PC顯示器屏幕對角線長度之比。當顯微鏡通過CCD 設備連接至電腦上進行成像觀察時，就需要評價顯示器倍率了。

PC顯示器倍率（TV綜合倍率）的計算公式如下：

工作距離

聚焦時物鏡鏡頭頭部頂點到檢查物體表面的距離。工作距離越長,聚焦時操作性越好,不用擔心鏡頭會碰上檢查物體。WD：Working Distance

齊焦距離PFD

聚焦時從物鏡安裝位置到合焦時檢查物體表面的距離。PFD：Par Field Distance

焦點距離FD

焦點距離指鏡頭（主點）到焦點的距離。FD：Focus Distance

焦點深度 DOF

聚焦之后,聚焦位置前后移動,也能清晰的觀察的前后移動范圍。DOF：Depth Of Focus

在人眼分辨力以下（約0.1至0.3mm）需要使用顯微鏡來，顯微鏡的觀察方法又有哪些呢？

觀察方法

• 明視場觀察  垂直照射測量物表面，適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。
• 暗視場觀察 通過對從工件發(fā)出的散射光進行觀察，可完成在明視場下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸，以及勝任低反射工件的觀察。
• 偏光觀察 觀察具有偏光特性的物質，適用于半導體材料、液晶、結晶、金屬組織、礦物等表面觀察。
• 微分干涉（DIC）觀察 利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對比度變化，可進行立體觀察。適用于觀察硅片的結晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。

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