主要特點概覽

1.非接觸式測量，一體化設(shè)計

2.三維形貌掃描，多功能數(shù)據(jù)處理

3.適用于各種材料的準(zhǔn)確測量

4.使用簡單，裝拆方便

5.掃描速度快，定位精度高

6.±0.5到±1μm重復(fù)精度保證

7.穩(wěn)定性高，抗干擾能力強

測量結(jié)果

  探針磨損前高度約為1OOμm左右，磨損后約為80μm

 解決現(xiàn)階段測量裝置存在的問題

  1.對測量材料有一定要求

  2.接觸式測量，對測量材料有損壞

  3.測量范圍小，位置不確定，測定困難

  4.測量速度慢、精度低，測量誤差大

  5.結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高