基本的功能是對各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，例如：生物學(xué)，植物學(xué)，地質(zhì)學(xué)，冶金學(xué)等等。觀察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面?？梢院芊奖愕匮芯?化物表面，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。
在掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。
電子束與樣品作俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測；與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號、電子束感生電流信號；在觀察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。
掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料的特征的描述，掃描電子顯微鏡是至關(guān)重要的。掃描電鏡廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、陶瓷、化工、半導(dǎo)體、電子器件、紡織、生物學(xué)等行業(yè)領(lǐng)域，適用于科學(xué)研究，工業(yè)產(chǎn)品失效分析，產(chǎn)品可靠性控制。電子光學(xué)性能，滿足客戶從幾倍到幾十萬倍的快速觀察分析，不但具有強(qiáng)大的圖像處理分析功能，還能廣泛連接各種標(biāo)準(zhǔn)或者